资产编号	S20160575
仪器名称	紫外光刻机及控制软件  状态【在用】
英文名称
规格/型号	URE-2000/URE-2000
生产厂商
国别	中国
所属单位	材料与化学工程学院>>化工楼119	放置地点	化工楼119(化工楼119)
使用日期		电子邮箱	0
性能指标	*1. 曝光类型：单面； *2. 曝光面积：≥φ115mm； *3. 曝光不均匀性：≤±2.9%； *4. 曝光强度：≥20mw/cm2，365nm波长纯净，照明面温度<35℃； *5. 分辨力：1.0μm（胶厚2 μm的正胶）；
主要应用	多功能型X射线光电子能谱仪以XPS分析系统作为主机基本单元，可以兼容紫外光电子能谱（UPS）、离子散射谱（ISS）、无损深度分析等其它表面分析技术。适于各类具有粉末、薄膜、纤维和块体等不同形态的金属、非金属、半导体、氧化物和化合物、复合材料、纳米材料以及生物材料的表面几个原子层（1～10nm厚的表面）的化学组成、价态，深度剖析及成像、功函数特性等的分析与表征。
样品要求	标注：刻蚀面积，线宽和厚度
仪器说明
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